不同的废气处理设备对污染物的去除原理不同。通常，大多数工艺可以完全去除废气中的污染物。除臭的一般原理如下：洗涤法是用酸液或碱液中和吸收恶臭废气，对硫化氢、氨等酸碱气体有很好的处理效果。耦合光催化法：紫外光与负载贵金属的特殊耦合催化板配合，产生-OH自由基和活性O基团，氧化分解恶臭污染物。生物法：生物法是利用微生物的异养作用，将恶臭污染物分解为微生物生长所需的营养物质和其他小分子化合物，从而去除废气中的恶臭污染物。

低温等离子体：低温等离子体技术是近年来发展起来的废气处理设备新技术。其原理是，当施加的电压达到气体的放电电压时，气体被分解，产生包括电子、各种离子、原子和自由基的混合物。这些活性粒子与废气中的污染物发生反应，使污染物分子在极短的时间内分解。吸附法：采用比表面积大的吸附剂吸附恶臭污染物。活性炭是最常用的吸附剂，尤其是活性炭纤维棉，对恶臭气体具有优异的吸附效果。
废气处理设备的维护：这是一种基于废气净化设备实际技术状况的预防性维护方法。一般采用设备的日常例行检查和定期检查，了解设备的技术状况。根据设备的劣化位置和程度，在故障发生前及时进行预防性维护，消除隐患，恢复设备的功能和精度。根据废气处理设备磨损规律，提前确定维修类别、维修间隔、维修内容和技术要求。维护计划可以根据设备的计划启动时间安排很长时间。
废气处理设备的定期维修法适用于工艺生产设备、自动化生产线中的主要生产设备和连续运行的动能生产设备，这些设备已经完全掌握了设备磨损的规律，在生产过程中难以停止和维护。
废气处理设备事后维修方法：当设备因不能再使用而出现故障或性能精度下降到合格水平以下时的计划外维修，称为事后维修，俗称故障维修。废气处理设备发生故障后，往往会给生产造成很大损失，也给维修工作造成困难和被动。但是，对于一些停机后不会对生产造成损失的设备，采用事后维修的方法可能更经济。比如对于结构简单、利用率低、维修技术不复杂、维修配件获取及时的设备，出现故障不会影响生产任务。
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